|
|
คุณสมบัติของเครื่อง
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดที่มีสมรรถนะสูงชนิดฟิลด์อิมิสชั่น (Fe-Scanning Electron Microscope, Fe-SEM) มีกำลังขยายภาพอย่างน้อย 1,000,000 เท่า, สามารถปรับตั้งค่า Accelerating Voltage ได้ถึง 30 kV มี Mode และ ตัวรับสัญญาณ (Detector) ดังรายเอียดต่อไปนี้
Mode |
ตัวอย่างที่เหมาะสม |
Detector |
High Vacuum |
แห้ง นำไฟฟ้า ต้องการกำลังขยายสูง เช่น เหล็ก |
- ETD (SE)
- BSE |
Low Vacuum |
แห้ง ไม่นำไฟฟ้า เช่น พืช สัตว์ |
- LFD (SE)
- BSE |
ESEM (Cooling state) |
ชื้น ของเหลว ต้องการคงสภาพ เช่น งานจุลชีพ |
- GSED |
ESEM (Heating state) |
ดูจุดหลอมเหลวไม่เกิน 1000oC |
- LFD |
STEM / WetSTEM |
ส่องผ่าน (ตัวอย่างนำไฟฟ้า/ไม่นำไฟฟ้า) |
-STEMII |
EDX (วิเคราะห์หาธาตุในตัวอย่าง) |
สามารถวิเคราะห์ธาตุตั้งแต่เลขอะตอม 4 (Beryllium: Be) ถึง 92 (Uranium: U) |
- X-Ray |
ห้องปฏิบัติการ
ห้องปฏิบัติการกล้องจุลทรรศน์อิเล็คตรอนแบบส่องกราด
ยี่ห้อ / รุ่น
FEI / FEG Quanta 450 |